Diffusion du silicium dans la silice amorphe - ScienceDirect
En utilisant l'isotope stable Si 30 nous avons mesuré la diffusion du silicium dans la silice amorphe entre 1110 et 1410°C. Les profils de diffusion ont été obtenus à l'aide d'un analyseur ionique (SIMS). Dans ce domaine de température le coefficient de diffusion peut se mettre sous la forme: D(cm 2 s −1) = 328 exp (− 579KJ RT) = 328 exp (− 6eV kT) ...